新品发布精讯畅通推出数字量MEMS气体传感器体积小功能多更稳定
发布时间:2022-08-09 09:18:45
  近年来,随着消费电子、汽车电子产品等下游行业的快速发展、全球电子整机产业以及硬件创新市场逐渐向中国转移,中国市场对于 MEMS 器件的需求增速远高于全球 MEMS 市场增速。‍  MEMS中的核心

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  近年来,随着消费电子、汽车电子产品等下游行业的快速发展、全球电子整机产业以及硬件创新市场逐渐向中国转移,中国市场对于 MEMS 器件的需求增速远高于全球 MEMS 市场增速。‍

  MEMS中的核心元件一般包含两类:一个传感器或执行器,以及一个信号传输单元。传感器将外界信号转换为电信号,执行器与外界产生作用,信号传输单元能够对信号进行处理以及与其他微系统连接。此类传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等优点,在诸多领域中具备传统的机械传感器所难以比拟的优势。‍

  MEMS气体传感器是利用MEMS工艺在SI基衬底上制作微热板,所用气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中被检测气体存在时传感器电导率发生变化,该气体浓度越高,传感器的电导率就越高。在这种情况下,只需使用较为简单的电路,即可将电导率的变化转变为电流的变化,进而生成与该气体浓度相对应的输出信号。‍

  本款产品采用数字量进行检测数据的传递,该数据传输模式抗干扰性能好,同时不会因阻抗匹配问题影响测量的准确度,并且输出数据更便于计算机系统进行数值运算分析,输出数值不易产生附加误差。‍

  1. 微型化设计。产品体积小、谐振频率高、功耗低、响应速度更快,同时,MEMS传感器表面体积比高的特性,也意味着传感器的敏感程度更高。‍

  2. 高度集成。不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器和执行器,可以被集成于一体,形成高效、多功能的微传感器阵列或微执行器阵列,在小体积状态下实现更多功能。‍

  3. 高温、低温环境下工作适应性良好。产品功耗较低,工作过程中基本不产生热辐射,不会令周围环境产生明显的温度湿度变化,不影响相关监测过程的进行。‍

  4. 抗震性好。MEMS传感器体积小、重量轻,处于震颤状态下时不易发生形变或移位现象,可保持检测性能处在正常状态下。‍

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